电子散斑干涉（ESPI）技术是一种非接触式的全场测量技术，具有波长量级的灵敏度，可以测量微米级的位移量。ESPI-IN型高灵敏度电子散斑干涉面内变形测量系统采用经典的双光路测量光路(图1) ，采用光纤传导技术，优化了测量系统。采用了自主专利技术，实现干涉条纹的实时相移，结合现代图像处理技术，实现干涉条纹的自动分析可以精确测量物体的面内位移。
图1 ESPI散斑干涉面内位移测量光路
ESPI-IN型高灵敏度电子散斑干涉面内变形测量系统，如图2所示。它采用单臂光路设计形式，只能够测量与两个出光口在一个平面内的面内位移。如果需要测量其它方向的面内位移分量，需要把设备安装在指定方向。
图2 ESPI-IN型高灵敏度电子散斑干涉面内变形测量系统
主要技术指标：
激光器功率：100mW
实时干涉条纹：35fps
实时相移条纹：35fps
图像采集分辨率：500万像素
镜头：焦距25mm
工作距离：750mm
有效测量面积：150×150 mm2
测量分辨率：优于1/256级条纹