电子散斑干涉（ESPI）技术是一种非接触式的全场测量技术，具有波长量级的灵敏度，可以测量微米级的位移量。ESPI-3DC三维变形测量仪采用经典的面内和离面位移测量光路(图1) ，采用光纤传导技术，优化了测量系统。采用了自主专利技术，实现干涉条纹的实时相移，结合现代图像处理技术，实现干涉条纹的自动分析可以精确测量物体的面内位移。
图1 ESPI散斑干涉面内位移和离面位移测量光路
ESPI-3DC三维变形测量仪采用了三个不同波长的激光器，利用独立的三个光路，分别测量物体面内水平、竖直方向的位移，以及离面位移。其中波长为671 nm红色激光、波长为532 nm绿色激光分别测量物体水平和竖直方向上的面内位移，波长为473 nm蓝色激光测量离面位移。由于三个光路独立工作，通过一个3CCD彩色相机同时获得包含三种干涉条纹的图像，由计算机自动分析各方向的变形。它可以在一次加载状态下，一次完成三个方向上的同步变形测量。
图2 测量系统（a）集成系统；（b）三组干涉光路组合 （c）电源单元
主要技术指标：
面内位移测量光路：两个激光器，波长：532nm、671nm
激光器功率：60mW 两组一分二单模光纤传输
离面位移测量光路：1个激光器，波长473nm
激光器功率：20mW
实时干涉条纹：20fps
实时相移条纹：20fps 图像采集分辨率：500万像素
镜头：焦距25mm 工作距离：750mm
有效测量面积：150×150 mm2 测量分辨率：优于5 nm